24.06.25 4513주 자사주 처분
24.05.01 EUV 펠리클, 하반기 시제품 납품 목표"
에프에스티는 현재 EUV 펠리클 1세대·2세대를 모두 개발 중에 있다
올해 초 약 190억 원 투자해 EUV펠리클 전용 공장을 착공하면서 내년 본격적인 양산이 전망된다.
23.12.25 2나노 경쟁...EUV 생태계 깊고 넓어진다
‘ASML’, ‘하이엔에이 EUV’, ‘2나노’
2나노: 25년타겟(인텔은 24년 타겟)
High NA EUV 장비: 렌즈크기 커짐. NA(렌즈 개수구 뜻), 렌즈크기 확대해서 미세 패턴닝을 세밀하게
High NA EUV장비 첫 출하 -> 벨기에 반도체 연구소 IMEX. 연구개발용. 25년 양산. 두번짼 인텔
내년 하반기 되면 파운드리도 회복되지 않겠냐
에스엔에스텍 EUV 블랭크마스크 준비
에프에스티 올해까지는 수율 이슈. 투과율은 괜찮았는데 결국 상업화 하려면 수율 등 이슈를 해결해야 되는데, 올해는 좀 끌어올렸다고 합니다. 빠르면 내년 하반기부터 제품 공급을 타겟
포토레지스트는 국산화 느림. 동진쎄미캠 준비중. 유기물에서 무기물로 바뀌는중.
23.12.14 EUV 핵심 부품 ‘펠리클’ 국산화 언제쯤…
리클은 EUV 공정에서 포토마스크를 이물질로부터 보호하는 덮개 역할을 하는 부품이다. 올해 제품 양산이 진행돼 삼성전자에 납품이 될 것으로 전망됐지만 내년 이후에나 국산화가 가능할 것이라는 전망
안정성 확보와 테스트 등의 이유로 삼성전자 등 주요 고객사에 대한 납품은 지연
에스앤에스텍 제품이 고객사들이 만족할 성능을 갖춘 것으로 판단돼, 내년 2분기 주요 고객사를 대상으로 제품 공급이 시작될 것
“EUV 펠리클은 공정 과정에 핵심적으로 쓰이고, 개당 3000만원에 육박하는 고가의 소모품
23.12.13 삼성-ASML 맞손 '1조 합작' R&D센터 출범
삼성전자와 ASML은 12일(현지시간) 네덜란드 남동부 벨트호벤에 있는 ASML 본사에서 차세대 반도체 제조 기술 연구·개발(R&D) 센터 설립 MOU를 체결
SK하이닉스와 ASML은 이날 EUV용 수소가스 재활용 기술 공동개발 MOU
EUV 펠리클은 반도체 수탁생산(파운드리) 업체 쪽에서 활용이 늘어나는 추세다.
23.12.12 EUV 펠리클 검사장비 상용화…펠리클은 ‘아직’
EUV 펠리클과 관련 검사장비가 실적에 본격 기여하는 시점은 미정
23.11.03에프에스티, 삼성전자 내 펠리클 시장점유율 80% 보유
EUV 펠리클 개발을 위해 전략적인 협력을 지속 중으로 내년 3분기부터 본격적인 양산이 시작될 것으로 전망
펠리클 신규시설투자를 공시했다. 총 투자 규모는 330억 원으로 펠리클로 환산하면 12~15만 장 규모
이번 공시를 통해 증설하는 펠리클 투자 규모는 기존 CAPA 의 최대 50%에 달하는 수준
지난 7월에는 고객사에 EUV 펠리클 탈부착장비(EPMD)와 EUV 펠리클 검사장비(EPIS)를 공급
이솔이 개발한 EUV 마스크 리뷰장비(SREM)를 최종 매출로 인식할 것으로 예상
23.09.23 에프에스티 "EUV 펠리클 개발 중...이르면 연내 양산"
메탈 실리사이드(Mesi-based) 소재 기반의 400W EUV 펠리클 공정을 확보해 빠르면 올해, 늦어도 내년 상반기에 양산을 목표
1세대와 더불어 2세대 600W EUV 펠리클 개발도 절차대로 잘 진행 중
23.09.07
23.07.19 “EUV 시대 맞이”…에프에스티, 전용 펠리클 탈부착·검사장비 수주
EUV 펠리클 탈부착 장비 및 검사 시스템을 국내 반도체 제조사에 납품
탈부착 장비는 EUV 펠리클을 마스크에 자동으로 붙였다 뗄 수 있는 역할
검사기는 EUV 펠리클의 멤브레인과 프레임 이물질을 확인하는 설비
23.04.12 오로스테크놀로지, 최성원 사장 각자 대표이사 신규 선임
최성원 대표이사는 삼성전자 EUV총괄리더 출신, 에프에스티에서도 현재 부사장직을 유지
23.04.03 에프에스티, 150억 규모 교환사채 발행 결정
시설자금 조달을 위해 150억원 규모의 교환사채 발행. 교환가액은 2만5350
23.03.20 에스앤에스텍 "EUV 펠리클 투과율 91% 달성"
삼성전자는 아직 EUV 공정에 펠리클을 적용하지 않고 있다. 공정 속도 지연과 공급망 부족 등의 이유에서다.
23.02.09 이솔, 올해 2세대 EUV 장비 시제품 선보인다
이솔이 올해 2세대 EUV 장비 시제품
EUV 마스크 리뷰 설비, EUV 펠리클 투과율 검사기 등 1세대 장비에 이어 2세대 장비 개발
펠리클 투과율 검사기는 전세계적으로 2~3개 기업이 경합
EUV 마스크 리뷰 설비인 ‘SREM 330’은 개발
SREM 보다 속도 등에서 세계 최고 수준인 EUV 측정장비(FREM)도 순조롭게 개발
간섭 노광장비 역시 개발
23.01.13 에프에스티, 100% 자회사 클라넷 합병
클라넷은 폐가스처리장치 등의 사업
22.12.02 토종 EUV 장비 개발기업 이솔...국내 첫 '반도체장비 유니콘' 될까
https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=18973
EUV용 펠리클 투과율을 검사하는 장비인 ‘EPTR’을 상용화
EUV 마스크 리뷰 설비 개발도 마치고 현재 대형 고객사와 장비 세팅 작업을 진행
Q. 패턴 검사기에 대한 계획은 없나?
“현재는 노코멘트다. 훨씬 도전적인 제품이고 소프트웨어 기술도 어마어마하게 들어간다.”
22.09.08 외연 넓히는 에프에스티, 계열사 각자도생 '눈길'
에프에스티는 투자금 지원 등은 이행했지만, 긴밀한 협업을 진행하기보다는 각자 R&D를 진행하고 사업을 영위하는 '각자도생' 방식을 선호
에프에스티가 지분 54.25%를 보유한 '이솔' : 2017년 설립한 이솔은 극자외선(EUV) 마스크 결함 리뷰 장비, EUV 마스크 위상 측정 장비, EUV 펠리클의 투과율·반사율 측정장비 사업을 영위,EUV 포토레지스트(PR) 평가 장비 '에밀레' 테스트도 성공
22.09.07 '소재 국산화' 이끈 에프에스티, EUV시대 준비 '구슬땀'
포토마스크 보호용 막인 펠리클과 반도체·디스플레이 공정에서 프로세스 챔버(Process Chamber) 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비 칠러(Chiller)
22.07.21 삼성전자, '펠리클' 기술 확보땐 TSMC와 한판 승부
삼성전자는 2023년부터 EUV 공정에 펠리클 도입을 목표로 협력사와 함께 펠리클 기술 개발에 한창이다.
EUV 공정에서 광원 손실을 최소화하려면 90% 이상의 투과율과 50나노급의 얇은 펠리클을 사용해야 한다고 말한다. 또 EUV가 펠리클을 통과하면서 발생되는 열에 휘지 않아야 하므로 높은 내구성도 요구된다. 그러나 투과율 90% 이상의 펠리클은 아직까지 EUV 공정에 사용되고 있지는 않다.
반도체 업계에서는 ▲7나노에서 필요한 포토마스크가 7개, 펠리클 사용 여부는 옵션이라면 ▲5나노 공정에서 포토마스크가 12~14개, 펠리클 24~28개 ▲3나노 공정에서 포토마스크 15개 이상 펠리클 30개 이상이 필요하다고 말한다.
22.07.12 에프에스티 “이솔, 40억 규모 3자 배정 유상증자 결정”
22.06.26 삼성전자 EUV장비 기반 첨단공정 강화에 웃는 반도체소재 기업들
“EUV 장비용 블랭크마스크와 펠리클 업체들과 협력을 한층 강화할 것”
EUV 소재 관련 업체로는 에스엔에스텍(EUV용 블랭크 마스크), 에프에스티(EUV용 펠리클) 등이 꼽힌다. 이들 기업은 삼성전자가 EUV 장비를 이용한 첨단공정 투자를 확대하면 수혜를 볼 것으로 예상
펠리클은 포토마스크를 대기 중의 이물질로부터 보호하는 역할을 하는 얇은 막을 말한다. 포토마스크의 수명을 연장해주고 높은 수율을 가능하게 하는 기능성 소재다.
에프에스티는 삼성전자의 지원을 받아 EUV용 펠리클 개발에 도전하고 있다. 2023년 상용화가 목표다.
22.06.13 EUV공정장비·누리호 탱크 개발자 '6월 대한민국 엔지니어상' 수상
전성철 에프에스티 책임연구원
극자외선 반도체 공정에서 불량 감소를 위해 회로 원판을 보호하는 초박막 펠리클을 자동 부착·분리하는 장비(EPMD, EUV Pellilce Mounter and Demounter)개발
핵심기술인 ‘혼합 접착제 자동 도포기술’을 독자 개발해 세계 최초로 해당 장비를 100% 자동화
22.05.17 에프에스티, 원자재價 압박에 1분기 실적 감소…“하반기 펠리클 수요 확대로 반등”
회사 측은 실적 감소에 대해 회사 제품군인 칠러 생산을 위한 원자재 가격이 오르고 연결 회사의 제품 양산 준비가 원인
22.4.25 화인세라텍은 아이엠텍 기술유용으로 성장기반 다졌나?
아이엠텍은 심각한 경영난에 허덕이고 있는데 반해 기술을 유출한 혐의를 받고 있는 화인세라텍은 성장을 거듭하고 있는 것으로 전해졌다. 화인세라텍은 현재 아이엠텍의 주력사업인 HTCC제품을 생산해 판매하고 있다. 양 사의 제품은 사실상 동일한 제품일 정도로 유사하다. 아이엠텍은 MLC 제품의 핵심기술인 HTCC(High Temperature Co-fired Ceramic) 생산 기술노하우를 다년간 축적시켜 주력사업으로 키웠다. MLC기판 생산에 차질이 생기면 삼성전자, sk하이닉스 등의 반도체 생산에 차질이 빚어지게 되는 데 따라 고객사의 요청으로 부품국산화를 추진했고 이에 응하기 위해 만들어진 회사가 화인세라텍이라고 밝혔다.
22.03.24 에스에프티 종속회사 이슬, 174억원 규모 제3자 배정 유증
에프에스티(036810)는 종속회사인 이슬이 운영자금 158억9967만원과 채무상환 자금 16억원을 마련하기 위해 제3자배정 유상증자
신주는 종류주 6만8018주로 1주당 25만7280원
배정받는 제3자는 신영에스케이에스 공동투자2017 사모투자 합자회사
22.03.10 '2세 이사회 입성' 에프에스티, 승계 시계 빨라지나
장명식 에프에스티그룹 회장의 장남 장경빈 상무가 이사회에 처음 입성
1982년생인 장 상무는 미국 워싱턴대학교세인트루이스(Washington University in St. Louis) 경제학과를 졸업하고,
칭화대-인시아드 경영학석사과정(Tsinghua-INSEAD Executive MBA)에서 수학했다.
졸업 후 에프에스티의 자회사 이솔에서 경영총괄 부사장을 지냈다. 거시경제와 실물경제에 두루 밝다는 평가다.
다만 승계 마침표인 지분승계까지 갈 길은 험난하다. 에프에스티 내 장 상무의 지분이 전혀 없는데다 부친의 지배력 역시 압도적인 수준이 아니기 때문이다. 현재 장 회장의 개인지분은 15.75%이다. 가족회사 시엠테크의 지분(8.45%)을 포함해도 24.3% 수준에 불과하다. 다만 장 상무가 시엠테크의 지분 20%를 쥐고 있기 때문에 이를 활용해 지배력을 확대할 여지는 남아있다. 에프에스티의 인적분할을 통한 지주사 전환 가능성이 점쳐지는 배경이다.
22.02.14 에프에스티, 1주당 130원 현금배당 결정
시가배당율 0.5%
나는 160주 * 130 = 20,800원...젠장
22.02.11 에프에스티, 2023년 EUV 펠리클 상용화 목표
에프에스티는 내년 EUV용 펠리클 고객사 평가를 진행한다
EUV용 포토마스크는 한 장당 10억원에 달한다. 전용 펠리클이 없으면 1~2번 쓰고 버려야 한다. EUV용 펠리클은 수천만원 정도로 파악된다.
에프에스티는 디엔에프, 나노종합기술원 등과 협업하고 있다. 디엔에프는 반도체 공정에 쓰이는 전구체 업체다.
