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인증
22.03.14 펠리클 프레임과 펠리클 멤브레인 일체형의 EUV펠리클 및 일체형의 EUV펠리클을 포함하는 노광장치

사업장
동탄-TCU사업부
오산-펠리클사업부

사업분야
1.펠리클 : 마스크 표면을 오염으로 부터 보호해주는 박막.웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않도록 한다
                 반도체제품의 수율향상, 포토마스크 사용 수명 연장, 포토마스크 세정 주기 연장, 포토마스크 오염으로 보호 

2.TCU사업부 : 칠러. 온도조절

뭔진 모르겟지만 이런장비

3.APS사업부(Advanced Product & Solution) : 다양한 EUV Infra tool 개발하고 상용화 준비
   주력제품 : EUV Pellicle Mount/Demount System, EUV source, EUV Pellicle, Mask, Dual Pod 등 

23년 IR자료(23.4)
[개요]
사업영역 : 반도체소재, 반도체장비
주요제품 : 펠리클 칠러 검사 및 계측장비, EUV광원
대표이사 : 장경빈
사채발행 : 무기명 이권부 무보증 사모 교환사채 
                 150억(주당 25350원,보통주 591,715주)
                  23.4.4(발행일) / 26.4.4(만기일)
펠리클 사업부, TCU 사업부, 유통사업부, R&D연구소
FCT, SP텍, FXT, 오로스테크(관계사), 이솔(관계사)

[펠리클 사업부]
펠리클 : 포토마스크를 이물질(Particle)로 부터 보호하기위해 사용되는 소재
구분 : 반도체 펠리클, 디스플레이용 FPD 펠리클
주요고객사: 삼성전자, SK하이닉스, LG이노텍
경쟁사: 일본 아사이, 신에쯔,미쯔이 / 미국 MLI, INKO

[TCU(Temperature Control Unit)사업부] 
칠러 : 반도체 공정에서 열의 발생이 일어나는 장비 Chamber내Wafer나 주변온도를 일정하기 유지하여 공정효율을 개선

[유통사업부]
각 기업들과 전략적 파트너쉽들 통해 가전제품,모바일,디스플레이,자동차,보안,IoT등 솔루션 및 기술지원

주요제품

[EUV]

EPODIS : EUV용 마스크 Case인 Dual Pod를 검사하는 장비
EPMD : 노광공정 전 EUV Pellicle 을 EUV Mask에 자동으로 탈/부착하는 자동화설비
EPIS : EUV Pellicle 의 Membrane과 Frame의 이물을 optical 방식으로 검사하는 장비

EUV Pellicle 소재 연구개발, 인프라 인하우스 구축, Assembly 및 제작 공정확보 중 => 이것저것 열심히 한다는뜻

[에스피텍]
반도체 및 FPD펠리클용 Frame 생산과 판매

[화인세라텍]
세라믹소재기술을 이용해 프로브카드용 다층세라믹기판(MLC)개발 및 생산

[에프엑스티]
반도체장비용 CVD SiC Ring 생산 및 판매 => 티씨케이에서 본거 같은데

[오로스테크놀러지]
웨이퍼 측정, 웨이퍼 검사, 패키지측정, 패키지검사 사업

[이솔]
EUV Mask 계측 및 검사장비, EUV 감섭 노광장비, EUV Pellicle 투과율/반사율측정장비