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어반도체 고압 수소 Annealing / Oxidation 장비 제조 공급 ->최신 첨단 소자 제작
주력제품 GENI, GENI-SE
사업장 :경기도 수원시 권선구
채용: 전장,SW,PLC 

..딱히 홈페이지에서 얻을 정보는 없군

어닐링이란 뭔가?

어닐링
웨이퍼에 상처가 아물도록 온도 변화를 주는 공정.
재료를 고온으로 장시간 유지시킨 후 서서히 냉각하는 열처리 방식

고압수소어널링
고압 수소, 중수소를 통해 반도체 표면 결함을 제거하는 기술.
트랜지스터 막을 형성하는 *High-K의 28나노미터 이하 공정에서 발생하는 터널링현상(누설전류) 막기위해 도입
고압에서 가스 농도를 높여 저온공을 가능하게하는 고압어닐링(HPA)
여기에 수소를 이용한 화학장용을 통해 회로개선.
고압에서 가스 농도를 높여 저온공정 가능. 폐쇠형구조 압력 24ATM, 수소농도 100% 극대화

반도체 초미세화공정
->터널링현상(누설전류)발생
->High-K(고유전율)절연막 소재 도입 but, 계면결합 생김
   (깨지다,스크래치,불안정:구동전류감소, 회로동작속도감소,전자이동감소)
->방지위해 고온 어닐링 공정 but, 고온으로 금속배선 녹음, 공정미세화 불가능
->단점극복위해 고압 수소 어널링공정 사용
   수소농도 100%, 저온 250~450도 이하

고압수소 어널링 진행과장
반도체 High-K 와 Metal gate사이에 계면 결합 발생

고압으로 수소(H2) 계면결합 발생한곳에 침투시켜 화학적 반응으로 치유

결국 계면결합감소, 성능향상