반도체 용어

Before market 과  After market
반도체 공정 소모품 시장은 Before market과 After market으로도 분류한다. Before market은 반도체 장비회사들에 직접 납품하고, After market은 반도체 장비회사와 무관하게 별도로 반도체 생산회사에 파는 방식이다. 자동차 부품에서 순정품 시장과 비슷한 시장이 Before market이고, 사제 부품시장과 비슷한 시장이 After market이다. 즉 Before market은 신뢰성이 높고 사후 문제가 발생해도 책임소재가 분명하나 비싸다는 단점이 있다.
그러나 Before market의 단점은 반도체 공정에 들어가는 고가의 반도체 장비와 반도체 공정이 멈출 때 발생하는 손실에 비하면 큰 문제는 아니다. 따라서 반도체 공정 소모품 시장에서 Before market이 After market보다 크다. 특히 고가나 주요 장비시장에서 Before market의 비중은 더 커진다. 다만 Before market은 진입이 어렵다. 세계적인 반도체 장비회사들의 신뢰를 얻어야하고, 그들이 요구하는 일정 수준 이상의 물량을 안정적으로 생산해야 하기 때문이다. 티씨케이는 글로벌 반도체 장비회사인 램리서치와 어플라이드머트리얼즈 등에 직접 납품하는 Before market 위주로 영업하고 있다.

SiC(실리콘 카비이드, 탄화 규소) 

Solid SiC
Solid SiC는 반도체 식각공정 중 건식 식각(Dry Etcher)장비에 들어가는 SiC 소모품이다. 식각공정 시 웨이퍼 바깥 부분에서 웨이퍼를 붙잡아 생산 수율을 높이는 CVD-SiC Ring이 대표적이다. 이 제품은 과거 산화피막 처리된 알루미늄인 알루미나나 웨이퍼 재질과 비슷한 실리콘 소재 등이 사용되었는데, 플라즈마 이온에 의한 침식이 늘어나 플라즈마 내화학성이 뛰어난 SiC로 대체되고 있다. 특히 식각 공정의 난이도가 높은 3D 낸드 공정에서 사용량이 크게 늘었다.

반도체 쿼츠(석영유리)
마스크(회로설계된 기판)을 실제 1~5배로 확대하여 쿼츠라고 부르는 유리판 위에 전자빔을 이용해 새기면 마스크가 완성